音圈直线电机

音圈直线电机体积小，响应速度快，与U型直线电机和平板型直线电机相比它可以提供更好的高频响应特性，可做高速振荡往复运动，特别适合用于短行程的闭环伺服控制系统的应用。音圈直线电机的控制简单可靠，无需换向装置，免维护，长寿命，可以长期连续工作。音圈直线电机可以进行精密的位置、速度、加速度和推力控制，无背隙。位置精度级别可达0.1～5μm，输出力为30N～800N，亦可根据客户的要求进行特殊设计。主要应用的领域：半导。 详细介绍>>