Dektak 150 台阶仪 价格 用途 参数 厂家

Dektak150台阶仪光学轮廓仪价格用途技术参数总代理详细说明：Dektak150台阶仪集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥领先，以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析台阶仪Dektak150表面轮廓仪（探针式）规格：测试技术：探针轮廓技术测试功能：二维表面轮廓测试样品视场：640*480像素，USB；17inc平板显示器探针传感器：低惯量传感器（LIS3）探针压力：使用LIS3传感器：1至15mg使用N-lite传感器：0.03至15mg探针选项：探针曲率半径可选范围：50nm至25um;高径比针尖：10um*2um和200um*20um样品载物台：手动X/Y/@：100*100mm,360度旋转，可手动校平；可选Y自动移动载物台，100mm行程，1um重现性，0.5um分辨率；可选X-Y自动移动载物台，150mm行程；1um重现率，0.5um分辨率计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器软件：Dektak软件台阶检测软件可选应力测量软件可选三维Vision分析软件可选缝合软件减震装置：可选桌式震动隔离装置可选台式震动隔离装置性能扫描长度范围55mm(2.1英寸)每次扫描数据点最多12万数据点最大样品厚度高达90mm(4英寸)，取决于配置最大晶圆尺寸150mm(6英寸)台阶高度重现性6埃垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）尺寸：292mm*508mm*527mm重量：34kg电源要求：输入电压：100-120VAC/200-240VAC,50-60HZ无论是用于科学研究还是工业生产，Dektak150探针式表面轮廓仪都具有业内最好的表现性能，最高的测量重复性以及最大的扫描范围。Dektak150集四十多年的技术积累和创新于一身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。基于Windows®XP的软件用户界面，使用户迅速掌握Dektak150。分析功能齐全，界面直观，包括从简便的一键"进针即测量"，到多次扫描结果的自动分析。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。详细技术要求及参数：•测量重复性6Å，1δ(10000Å标准台阶)。Stepheightrepeatability6Angstroms,1sigma(1,0000angstromstep).•最大扫描长度55mm，用于测量弯曲度和波度。Maximumscanlength=55mm,formeasuringcurvatureandwaviness.•配有快速更换探针附件。Quick-changestylusremovalwithstyluscoupledtothesensorheadmagneticallyusingkinematicmountsandspecialstylusremovalfixture.•低噪音线性LVDT传感器，保证Z轴方向高分辨率测量。LinearLVDTsensorforlownoise,highresolutionZ-axismeasurements•电磁探针压力调整系统，不管探针在何垂直位置都可保证探针压力不变。Electromagneticstylusforceadjustmentmechanismtoensurestylusforceisconstantirrespectiveoftheverticalpositionofthestylus.线性扫描——基于精确光学平面的样品台——提供了优越的基线稳定性，消除了几何测量误差。Linearscanmethod–precisionscanstagewithopticallyflatreference–providesexcellentbaselinestability,freeofgeometricmeasurementerrors.&精确6英寸样品台（X-Y-Theta手动定位）Precision6”samplestagewithmanualX-Y-Thetapositionadjustment&台阶检测功能，可自动测试多重台阶。StepDetectionfeatureforautomaticallymeasuringmultiplesteps&彩色摄影镜头（放大倍数166x并配有视频图象自动捕捉功能），为报告和演讲提供丰富的图形数据。Colorvideocamerastandardwith166xzoommagnificationwithvideoimagecapturefeatureforuseinreportsandpresentations.&视频观测功能使探针在整个扫描过程中均处在观察中，保证了扫描数据和视频图象的相互关联。Videooverlayfeaturewherestylusstaysinviewthroughoutentirescan.Ensuresdirectcorrelationbetweenscandataandvideoofsample&大于4英寸的样品空间可确保大样品的测量。Upto4”sampleclearanceforlargersamples&多扫描程序具有生成标准统计报告，用以计算标准偏差和平均值等结果。Multi-scanprogramrecipecapabilitystandardwithstatisticalreportgeneratingsoftwaretocalculatestandarddeviationandmean.&软件有30种分析功能,包括程控数据过滤等，从而得到精确的粗糙度和波度结果。30Analyticalfunctionsbuilt-in,includingprogrammablecut-offfiltersforaccurateroughnessandwavinesscalculations&低惯性感应器技术的应用可以把探针压力调整到1mg，从而使出众的表面表征能力得以实现。Lowinertiasensortechnologytoallowsuperiorsurfacetrackingwithlowstylusforcesdownto1mg.&标准垂直测量范围524um(1mm可选择)Standard524μmmaximumverticalrange(1mmoptional)•数据采样点可达120,000/扫描Acquireupto120,000datapointsperscan&3/8”厚的环境环境罩,可消除静电和电磁干扰。Environmentalshield3/8”thickacryliccover,ESDresistant&操作手册(1本说明书和1张光盘)，可以接受在线帮助Operationmanual(1printedhardcopyand1electroniccopyonCD)withmanualalsoavailableason-linehelp&符合CE标准CEcompliant 详细介绍>>

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