激光干涉仪

一.产品简介SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。二.SJ6000激光干涉仪显著特点1.测量精度高、速度快，稳定性好①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变2.应用范围广①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析3.软件界面友好①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。4性价比高性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。三.技术参数系统性能²测量方式：单频²稳频精度：0.05ppm²动态采集频率：50kHz²预热时间：5-10分钟²工作温度范围：0~40℃²环境温度范围：0~40℃²存储温度范围：-20℃~70℃环境补偿示值误差²空气温度传感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃²材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃²空气湿度传感器：±6%(0-95%)²大气压力传感器：±1mBar(650-1150mbar)线性测量²测量距离：0-40m²测量精度：0.5ppm(0-40℃)²测量分辨率：1nm²测量最大速度：4m/sec角度测量²轴向量程：0-15m²测量范围：±10°²测量精度：±0.6%R±0.5±0.1Mμm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）²测量分辨率：0.1μm/m直线度测量²轴向量程：0.1-4.0m²测量范围：±2.5mm²测量精度：±0.5%R±0.5±0.15M2μm（M为光学镜移动距离，单位：m）²测量分辨率：0.01μm垂直度测量²测量范围：±3/Mmm/m²测量精度：±0.5%R±2.5±0.8Mμm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）²测量分辨率：0.01μm/m平面度测量²轴向量程：0-15m²测量范围：±1.5mm²测量精度：±0.6%R±0.02M2μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）²测量分辨率：0.1μm回转轴分度精度测量²角度测量范围：0-360°²精密转台角度增量：5°²精密转台分度精度：±1秒²精密转台重复性：0.2秒 详细介绍>>

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