中图仪器SJ6000激光干涉仪

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。中图仪器SJ6000激光干涉仪性能特点：1.测量精度高、速度快，稳定性好①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变2.应用范围广①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析3.软件界面友好①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。4性价比高性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。中图仪器SJ6000激光干涉仪原理：一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。中图仪器SJ6000激光干涉仪技术参数：系统性能测量方式：单频稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50kHz预热时间：约6分钟工作温度范围：0~40℃环境温度范围：0~40℃，环境湿度：0~95%存储温度范围：-20℃~70℃环境补偿示值误差空气温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃空气湿度传感器：±6%(0-95%)大气压力传感器：±0.1kPa线性测量测量距离：0-40m测量精度：0.5ppm(0-40℃)测量分辨率：1nm测量最大速度：4m/s 详细介绍>>

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