智泰白光干涉仪

产品特点：1、非接触式测量：避免物件受损。2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。6、扫描仪：采用闭环控制系统。7、工作台：气动装置、抗震、抗压。8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。应用领域：1、TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工机型SIS1200SIS2000工作台尺寸250mm×174mm350mm×350mm倾斜度±3°测量行程X:150mmY:100mmX:200mmY:200mmZ轴行程50mm100mm运动方式手动自动，马达驱动扫描速度30μm/sec垂直分辨率0.1nmCCD黑白CCD，640×480像素物镜安装架手动导引五孔式手动5个位移的可定位夹具镜头选配镜头：5×、10×、20×、50×系统参数：测量技术增强相位扫描干涉相位移动干涉放大率2.5X5X10X20X50X视场(mm)3.62×2.721.81×1.360.90×0.680.45×0.340.18×0.13横向分辨率4.72μm2.72μm1.18μm0.88μm0.64μm控制器电脑软件i2000andSNUMapWindows2000环境下运行扫描仪闭环控制抗震工作台气动装置 详细介绍>>

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