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基础技术参数：型号：FUNCTION564n行程：X轴500mmY轴600mmZ轴400mm¯结构型式：活动桥式¯传动方式：直流伺服系统+预载荷高精度空气轴承¯长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm¯机台：高精度（00级）花岗岩平台¯使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65%，温度梯度1℃/m，温度变化1℃/h¯空气压力：0.4MPa-0.5Mpa¯空气流量：120L/min–140L/min¯整机尺寸(LWH)：1.2mX1.4mX2.3m¯机台承重：500kg，整机重量：850Kg空间测量精度：（2.80+L/300）μm 详细介绍>>

深圳思瑞测量技术有限公司华东分公司 （未核实）

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