光刻网格校正版

技术参数：1.光刻版尺寸：550x450mm,540x420mm,2.厚度：4.8mm,3.0mm.3.光刻版基材:Quartz;SodaLime4.最小线宽:1.0um.5.接触孔:1.5x1.5um6.CD公差:+/-0.1um7.均一性(范围):0.12um8.套刻精度:0.12um9.缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI光刻网格校正玻璃版是一种图形转移技术，将光刻版上的网格图形转移到涂有光敏材料，即光刻胶的硅片上，符合工业标准的光刻和检测系统的光刻版。将光首先通过光刻版，将硅片上的光刻胶曝光，从而产生可。 详细介绍>>