5D/6D激光干涉仪
更新时间:2018-01-27 浏览数:2961
仪器简介:5D/6D激光干涉仪是API的专利产品,一次安装能够同时测量线性轴的六个误差,包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试,使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成,实际应用结果表明,节省时间可达80%。该仪器体积小,重量轻,可以直接安装到机床导轨上。6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉仪和6维传感器组成,从激光器发出的激光光束经过干涉后,被6D传感器内的分光镜分成三束。
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