智泰白光干涉仪

产品特点：1、非接触式测量：避免物件受损。2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。6、扫描仪：采用闭环控制系统。7、工作台：气动装置、抗震、抗压。8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。应用领域：1、TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工机。 详细介绍>>