中图仪器SJ6000激光干涉仪

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。中图仪器SJ6000激光干涉仪性能特点：1.测量精度高、速度快，稳定性好①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变2.应用范围广①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测②结合我们的软件系统，可以用于。 详细介绍>>