国产优质SJ6000激光干涉仪

SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。SJ6000激光干涉仪性能特点：1.测量精度高、速度快，稳定性好①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变2.应用范围广①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测②结合我们的软件系统。 详细介绍>>