TR-SCAN 3D微观形貌测量仪、粗糙度测量仪

简介TRScan,毫无疑问,将成为非接触表面形貌测量领域最引人注目的创举.其系统核心采TrimosDHM®技术,广泛应用于生物及医药工程领域.系统本身基于对表面结构的物理全息特征分析,此技术被Trimos独特地用于工业表面检测,与传统非接触表面测量仪器相比,它可测量高反射表面,镜面经过抛光或者很小的部件TRScan在满足高速测量的同时,也保证了纳米级精度,只需几微秒就可以获得百万点三维图形.正是因为如此快的速度,消除了因振动带来的所有误差,由此克服光学测量系统的传统误差.其测量头可兼容探针(接触式测量),并可与其他光学测量传感器互换使用,复合式的测量解决方案,可检定各种表面结构,应用于各行各业:机械工业(所有加工表面),汽车,航天航空,表面涂敷,聚合涂层,光学元件,医学仪器,假肢制造,微型机电系统,造纸,半导体,科研机构以及计量单位.极快的测量速度抗振动性高Z轴纳米级分辨率激光找正迅速实现工件定位非接触式测量,无损检测曲线及表面分析自学习编程测量模式可兼容各种2D及3D标准显示/软件Trimos®NanoWareTrimos®NanoWare软件控制测量过程及分析结果.模块化的概念满足不同的要求及持续性开发.NanoWare仅能完成测量结果的分析评估,并能生成专业的检测报告.拥有国际权威的评价标准程序来实时更新国际标准测量符合以下标准:ISO(4287,4288,11562,1101,12085,13563,等),法国标准NF,制造标准CNOMO,ASME(B46.1)和DIN标准;三维表面特征数据标准ISO25178系列操作简便,界面友好功能灵活,可二次开发全自动测量用户自定义测量标准包含所有2D及3D标准Trimos®NanoWareLT2D轮廓测量分析基本模块.使用极其简单,此模块包括评估表面参数的部分重要功能轮廓,粗糙度,波度分析最关键参数(Ra,Rq,Rt,...)线材比率曲线成型,拉平,视图等滤波器所有测量可复现三维形貌Trimos®NanoWareXT2D轮廓测量分析完整模块,此模块基本包括专业级软件所有功能包含RLq,RLo,RPC,RzJIS,R3z...光谱线及形态分析测量点管理/再采集主题相关参数形貌及自相关联分析所有测量可复现三维形貌显示/软件Trimos®NanoWareSTT3轴测量基本模块.包含分析轮廓的所有功能及符合ISO25178表面分析3D基本参数(Sa,Sq,St,Smr,...)表面图形仿真距离,高度及角度测量成型,拉平,视图等滤波器最终结果管理测量点管理/再采集轮廓提取,体积测量Trimos®NanoWareXTT适合于表面结构功能性及分析需求.此模块覆盖STT版本并包含XT模块所有2D分析功能Trimos®NanoWarePRO市场上2D及3D表面特征评估最完整版本.此模块综合了表面测量领域15年以来的经验,是专业用户不二选择市场上最高性能的软件表面图层研究3D形貌鉴定颗粒度研究纹理分析表面及轮廓统计分析及研究技术参数主机TRScan100200300X轴测量范围mm--100100Y轴测量范围mm----100Z轴垂直位移范围mm240XYZ定位精度um1仪器重量kg800.25X0.25DHM测量头DHMS2垂直最大分辨率(Z轴)nm0.1最大测量范围(Ra)um1最大测量范围(Rz)um5最大允许误差(Ra)%1%重复性(Ra,1σ)nm<0.1样品反射率%<1%-100%测量视野mm0.25X0.25技术参数色谱共焦测量头CCMPCL1CL2CL3CL4CL5CL6垂直测量范围um100300110030001000020000工作距离mm3.31112.716.42919.6轴向分辨率um0.0050.0120.0250.0750.2800.600轴向精度um0.020.060.20.40.93最大爬坡能力deg+/-43+/-28+/-27+/-22+/-14+/-8.6接触式测量头DIAP1垂直最大分辨率(Z轴)nm10最大测量范围(Ra)um10最大测量范围(Rz)um200最大允许误差(Ra)%5%重复性(Ra,1σ)nm<9 详细介绍>>

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