中图仪器激光干涉仪

中图仪器激光干涉仪概述：中图仪器激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。中图仪器激光干涉仪功能：激光干涉测量系统应用非常广泛：精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测；精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正；大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统；微小尺寸的测量等。中图仪器激光干涉仪性能特点：1.测量精度高、速度快，稳定性好①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变2.应用范围广①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析3.软件界面友好①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。4性价比高性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。中图仪器激光干涉仪技术参数：系统性能测量方式：单频稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50kHz环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%存储温度范围：-20℃~70℃环境补偿示值误差空气温度传感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃空气湿度传感器：±6%(0-95%)大气压力传感器：±0.1kPa线性测量测量距离：0-40m测量精度：0.5ppm(0-38℃)测量分辨率：1nm测量最大速度：4m/s 详细介绍>>

深圳市中图仪器股份有限公司 （未核实）

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