中图仪器激光干涉仪概述:
中图仪器激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量,并且可以进行动态分析。
中图仪器激光干涉仪功能:
激光干涉测量系统应用非常广泛:精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测;精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正;大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统;微小尺寸的测量等。
中图仪器激光干涉仪性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
中图仪器激光干涉仪技术参数:
系统性能
测量方式:单频
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
环境温度范围:0~38℃,环境湿度:0~95%
存储温度范围:-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空气湿度传感器:±6% (0-95%)
大气压力传感器:±0.1kPa
线性测量
测量距离:0-40m
测量精度:0.5ppm (0-38℃)
测量分辨率:1nm
测量最大速度:4m/s
注:联系我时,请说是在“傲立机床网”上看到的,谢谢!