二手9B双面抛平磨机-精密双面减薄机
- 产品报价:¥ 14500 元/台
- 供 货 量:10台
- 更新时间:2022年06月17日
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一、主要用途 主要用于硅片,钨钢,蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光,尤其适用于超薄工件的加工。 二、产品特点 1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制; 2、上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式; 3、精密传动系统:高精度小齿隙全齿轮传动; 4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑; 5、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷; 6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反转)转速可任意设定,具有配方功能。 三、技术参数序号项目规格参数1下盘尺寸Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨)Φ640mm×Φ240mm×50mm(抛光)转速3-45rpm驱动电机7.5kWAC380V50Hz1440rpm2上盘尺寸Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨)Φ640mm×Φ240mm×50mm(抛光)转速3-30rpm驱动电机4.0kWAC380V50Hz1440rpm3游星轮参数节距:15.7Z=64数量6个4太阳轮转速0-20rpm驱动电机1.5kWAC380V50Hz1440rpm5精度指标上、下盘平面度≤0.015mm下盘端跳≤0.02mm6加工范围最大加工尺寸Φ280mm最小加工厚度0.15mm(≤2片)整盘承载量18×6=108片(2圆片)7水源纯水或自来水8电源功率14kWAC380V50Hz线缆规格三相五线刮.3×4mm2+2×2.5mm29气源压力压缩空气源0.5-0.6Mpa接管口径接口Φ10mm(外径)10外形尺寸长×宽×高:1650mm×1300mm×2500mm11重量约2000Kg
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