一、主要用途
主要用于硅片，钨钢，蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光，尤其适用于超薄工件的加工。
二、产品特点
1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方式;
3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捷;
6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反转)转速可任意设定，具有配方功能。
三、技术参数
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序号 |
项目 |
规格参数 |
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1 |
下盘 |
尺寸 |
Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨) |
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Φ640mm×Φ240mm×50mm(抛光) |
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转速 |
3-45 rpm |
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驱动电机 |
7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm |
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2 |
上盘 |
尺寸 |
Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨) |
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Φ640mm×Φ240mm×50mm(抛光) |
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转速 |
3-30 rpm |
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驱动电机 |
4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm |
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3 |
游星轮 |
参数 |
节距：15.7 Z=64 |
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数量 |
6个 |
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4 |
太阳轮 |
转速 |
0-20 rpm |
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驱动电机 |
1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm |
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5 |
精度指标 |
上、下盘平面度 |
≤0.015mm |
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下盘端跳 |
≤0.02mm |
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6 |
加工范围 |
最大加工尺寸 |
Φ280mm |
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最小加工厚度 |
0.15mm(≤2"片） |
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整盘承载量 |
18×6=108片（2" 圆片） |
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7 |
水源 |
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纯水或自来水 |
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8 |
电源 |
功率 |
14kW AC380V 50Hz |
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线缆规格 |
三相五线刮．3×4mm2+2×2.5mm2 |
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9 |
气源 |
压力 |
压缩空气源0.5-0.6Mpa |
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接管口径 |
接口Φ10mm（外径） |
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10 |
外形尺寸 |
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长×宽×高：1650mm×1300mm×2500mm |
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11 |
重量 |
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约2000Kg |
注：联系我时，请说是在“傲立机床网”上看到的，谢谢！
