CAX系列X-Y精密平台
更新时间：2012-10-30 浏览数：2682
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CAX系列X-Y精密平台选用高强度铝合金，经应力消除处理后再经摄氏196度之超深冷处理，可保证长期使用仍保有良好之精密度。工作台内部和进给机构装有5年或20000公里免维护的精密级直线导轨和C3级滚珠丝杠，既保持了原来的性能又实现了长期免维护。实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量，该结构承受力矩及复合负荷较强。采用AC400W伺服马达，全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。X-Y轴的平台220mm有效行程专业为8吋晶元设。 详细介绍>>
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