CAX系列X-Y精密平台

CAX系列X-Y精密平台选用高强度铝合金，经应力消除处理后再经摄氏196度之超深冷处理，可保证长期使用仍保有良好之精密度。工作台内部和进给机构装有5年或20000公里免维护的精密级直线导轨和C3级滚珠丝杠，既保持了原来的性能又实现了长期免维护。实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量，该结构承受力矩及复合负荷较强。采用AC400W伺服马达，全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。X-Y轴的平台220mm有效行程专业为8吋晶元设计。

 

型号表示：

CAX15R220-Y220P10-S1-M

（1）CAX15：CAX平台底座宽度150mm；

（2）R220：X轴有效行程220mm；

（3）Y220：Y轴有效行程220mm；

（4）10：滚珠丝杆的导程分为5mm和10mm；

（5）S1：SX671型极限开关，S2：SX674型极限开关；

（6）M：AC400W伺服马达；可客制化。

 

 

用户可根据不同的工作环境选择产品氧化后染黑处理、本色阳极氧化、硬质氧化、彩色氧化、喷砂氧化、钝化、化学镀镍等表面处理方式。特殊要求可达到B.S.5599(1978)英国国家标准、AMS2469C 太空材料规格及MIL-A-8625E TYPE Ⅲ军事规格等材质。