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中图仪器激光干涉仪

  • 产品报价:¥ 100 /台
  • 供 货 量:100台
  • 更新时间:2023年03月28日
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  • 参数说明
中图仪器激光干涉仪概述:中图仪器激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量,并且可以进行动态分析。中图仪器激光干涉仪功能:激光干涉测量系统应用非常广泛:精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测;精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正;大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统;微小尺寸的测量等。中图仪器激光干涉仪性能特点:1.测量精度高、速度快,稳定性好①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单。 详细介绍>>