二手9B双面抛平磨机-精密双面减薄机
- 产品报价:¥ 1.45万 /台
- 供 货 量:10台
- 更新时间:2022年06月17日
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一、主要用途 主要用于硅片,钨钢,蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光,尤其适用于超薄工件的加工。 二、产品特点 1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制; 2、上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式; 3、精密传动系统:高精度小齿隙全齿轮传动; 4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑; 5、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷; 6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反转)转速可任意设定,具有配方功能。 三、技术参数序号项目规格参数1下盘尺寸Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨)Φ640mm×Φ240mm×50mm(抛光)转速3-45rpm驱动电机7.5kWAC380V50Hz1440rpm2上盘尺寸Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨)Φ640mm×Φ240mm×50mm(。
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