高温石墨化炉

·最高使用温度：3000℃，常用温度2800℃，立式恒温区φ200×300mm;卧式恒温区φ110×900mm
·温度均匀度：≤±15℃；控温精度：±1℃
·工作气氛：真空置换Ar2 、 N2 保护（微正压）
·温度测量：红外光学测温，测温范围1000~3000℃； 测温精度：0.3%；
·温度控制：40段PID程序控制和手动控制。

·采用全密封防尘结构电源柜，防止导电炭纤维和导电尘土，机柜自带水冷散热器，不与室内空气发生热交换
·全面的PLC水、电、气自动控制和保护系统。实现电源、炉体、冷却水、保护气体等装置的顺序控制和联锁保护、预警、报警等功能
·由封闭的纯水循环系统进行冷却，每一个水路的水流理都触摸屏上显示，一次水循环系统全部使用不锈钢管道和去离子水冷却
·配备气体净化装置，可将氧含量降到1PPMV，露点温度小于-80度