F564三坐标测量机技术描述
一、技术参数
行程范围：X轴——————500 mm
Y轴——————600 mm
Z轴——————400 mm
结构型式：活动桥式
传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m ，温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m
机台承重：500 kg
整机重量：850 kg
控制及探针测量系统：
1．驱动系统：直流伺服电机 (日本)
2．控制系统：Renishaw （英国） UCC1
3．操作方式：计算机自动控制
4．控制软件：Serein DMIS V2.0
5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i （标准配置）
6．测量不确定度（E）：（2.8+L/300）μm
二、设备配置
1．机台、机座 1台
2．RENISHAW测头座 MH20i 1个
RENISHAW测头座 PH10T+ TP20（自动控制选配）1个
3．RENISHAW 控制系统 1套
4．操纵盒 1套
5．软件加密狗 1个
6．安装光盘（控制软件SEREIN DMIS V2.0） 1张
7．Serein-CMM三坐标测量机使用手册 1本
8．附件 1套
9．控制计算机，显示器，打印机 1套
三、可实现功能
1． 柔性定位：找正、旋转、平移及坐标存取。
2． 几何元素测量：点、直线、平面、圆、圆柱、圆锥、球、相交、距离、对称、夹角。
3． 形状误差定位：直线度、平面度、圆度、圆柱度。
4． 位置误差评定：平行度、垂直度、平面度、倾斜度、同轴度、位置度。
5． 脱机编辑系统：自学习编程、脱机编程、自检纠错功能、CAD导入系统。
四、机械特点
1． 整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。
2． 三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。
3． 三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。
4． 长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。
5． 控制系统采用英国 RENISHAW 的高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制；上下位采用光纤通讯，增强了电气抗干扰能力。
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