LOS双频激光干涉仪是以波长作为标准对位移和几何量进行度量的仪器,LOS采用了自制的稳频激光作为激光光源,精度可达到n m量级。LOS可以在很远的距离达到很高的测试精度和解析度。
LOS系统应用范围广,除了可用于长度的精密测量外,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
该公司同时提供基于CCD的几何度量系统,使得测量更加灵活、快速,并保证精度。
主要特点:
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