S5U-PH激光干涉仪
S5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足条纹非常密集、超大像差（PV值非常大）状况下的准确测量。
一、仪器规格参数
S5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足条纹非常密集、超大像差（PV值非常大）状况下的准确测量。
仪器规格参数表
硬件部分：
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产品型号
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S5U-PH
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产品名称
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5mm正立式激光干涉仪
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测试口径
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Φ5mm
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辅助对准口径
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Φ30mm
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标准镜面形精度
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λ/20
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光源
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进口半导体激光器（635nm)
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光路切换
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辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换
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电源
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AC220V50HZ
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软件部分：
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软件名称
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移相算法（简称PH）
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分析项目
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透过波前PV值、平行度Tilt值等
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测试重复性
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PV：0.01λ RMS:0.003λ
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测试允许误差
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PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.25fr（零场调整为1根条纹）
1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹）
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测试时间
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1.5秒
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注：联系我时，请说是在“傲立机床网”上看到的，谢谢！
