公司有多台日本(HAMAI)28B,日本创技(SPEEDFAM)16B、18B、20B、21B、28B、40
B双面研磨抛光机
国产品牌:广州环宇 13.6B 湖南宇晶9B 兰州瑞德15B
产品用途
本设备主要用于光学玻璃、陶瓷,硅片、锗片、计算机磁盘基片等电子材料及其他硬脆材料的双面高精度研磨加工,适用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸规格异形平行平面材料的双面精密研磨加工。
主要技术参数
3.1、研磨盘尺寸:φ1118mm×φ386mm×50mm
3.2、游星片参数:英制:齿数Z=200 模数DP12 α=20°
3.3、游星片数量:5片
3.4、修正轮数量:4片
3.5、研磨直径及片数:φ75/85片、φ100/40片、φ125/25片、φ150/20片;
3.6、下研磨盘转速:0~60rpm
3.7、整机功率:
主电机:11kW、AC380V、1460rpm、50Hz
搅拌泵:90W
加液泵:1/4HP 70L/min。
3.8、设备外形尺寸(长×宽×高):2000mm×1400mm×2670mm
3.9、设备质量:约5500Kg
基本配置
4.1、气缸: 嘉贸
4.2、精密减压阀: SMC
4.3、电磁阀 MAC
4.4、减速箱: 国产
4.5、PLC及文本: 台达
4.6、变频器: 施耐德
4.7、轴承: 国产
精度指标
5.1、下抛盘端面跳动0.08mm;
5.2、上、下研磨盘平面度0.030mm。
设备的安装
设备应安装在地面平坦、安装厚度应大于300mm,远离振动源、无灰尘烟雾污染的场所。
a 温度10℃-25℃
b 相对湿度≦95%
c 电源电压AC380V ,50Hz
d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)
主要特点
2.1、整机采用龙门结构,主体采用箱形结构,整体刚性好。
2.2、采用四动作研磨机理,实现对工件非强制性的约束方式,因此在研磨过程中零件不易破损。
2.3、加压系统分成轻压、中压、重压和修正(轻压)四个阶段,广泛适用于各行业用户的加工需求。
2.4、本机采用下盘升降方式,升降极限位置可调,满足了取放片及游轮啮合位置改变的要求。
2.5、采用三相交流异步电机,变频调速,起动及停车平稳,无冲击。
2.6、设备采用程序控制,设定好时间、压力段,届时自动停车。因此,一人可同时操作多台机器。
2.7、本设备电气通过PLC控制,四行文本显示器显示。
2.8、采用全齿轮传动方式,传动平稳,可靠性高。
20B资料
公司有多台日本(HAMAI)28B,日本创技(SPEEDFAM)16B、18B、20B、21B、28B、40
B双面研磨抛光机
国产品牌:广州环宇 13.6B 湖南宇晶9B 兰州瑞德15B
产品用途
本机主要用于8英寸以下硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨,也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。
设备基本参数
3.1、 研磨盘尺寸: φ1355mm×φ458mm×50mm
3.2、 游轮参数:公制:Z=170 M=3 α=20°
3.3、 最小抛光厚度:0.40mm
3.4、 下盘转速: 0-60rpm
3.5、 主电机: 11kW AC380V 1450rpm
3.6、 齿圈电机: 4kW AC380V 1440 rpm
3.7、 太阳轮电机:1.5kW AC380V 1440rpm
3.8、 抬升电机: 0.75kW AC380V 1390rpm
3.9、 三相电泵: 1/4HP AC380V 70L/min
3.10、外型尺寸: 1950㎜×3000㎜×2800㎜
3.11、重量: 约7000kg
设备的安装
设备应安装在地面平坦、安装厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。
a 温度10℃-25℃
b 相对湿度≦95%
c 电源电压AC380V ,50Hz
d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)
整机精度指标
l 下盘平面度小于0.03mm;
l 下盘端面跳动小于0.06mm;
主要特点
2.1变频器配合异步电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2.2采用三电机同步拖动,变速范围更广,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求;可实现快速修盘功能,提高生产效率。
2.3太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
2.4上下研磨盘采用斜齿轮传动,并且整机采用全齿轮传动,运转平稳。
2.5上研磨盘的升降及研磨压力的控制分别由上气缸及加压缸来完成。采用PLC控制,人机界面显示整机运转状态,压力采用电-气比例阀与压力传感器闭环反馈控制,压力转换过程实现了线性控制。用户可根据研磨工艺进行设置,压力控制精度高。
2.6上盘采用最新的“浮动”连接装置,调心灵活,解决了错盘问题。
2.7应用人机界面(PT)与PLC 通讯,一方面显示运行参数,另一方面通过其触摸键调整、设定各项工艺参数,主操作由普通键钮完成。
2.8采用集中润滑装置,各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。
2.9本机整体为龙门式结构,上研磨盘上升到最高位置后由横梁上两小气缸通过安全钩自动锁定,锁定可靠。
注:联系我时,请说是在“傲立机床网”上看到的,谢谢!